1. កំពុងផ្ទុក
ដាក់ crucible រ៉ែថ្មខៀវស្រោបនៅលើតុផ្លាស់ប្តូរកំដៅបន្ថែមវត្ថុធាតុដើមស៊ីលីកុនបន្ទាប់មកដំឡើងឧបករណ៍កំដៅឧបករណ៍អ៊ីសូឡង់និងគម្របចង្រ្កានជម្លៀសចេញពីឡដើម្បីកាត់បន្ថយសម្ពាធក្នុងឡទៅ 0.05-0.1mbar និងរក្សាភាពទំនេរ។ ណែនាំ argon ជាឧស្ម័នការពារដើម្បីរក្សាសម្ពាធនៅក្នុងឡដែលជាមូលដ្ឋាននៅប្រហែល 400-600mbar ។
2. កំដៅ
ប្រើឧបករណ៍កម្តៅក្រាហ្វីត ដើម្បីកំដៅតួចង្រ្កាន ដំបូងត្រូវហួតសំណើមដែលស្រូបយកលើផ្ទៃនៃផ្នែកក្រាហ្វិត ស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ វត្ថុធាតុដើមស៊ីលីកុន។℃. ដំណើរការនេះចំណាយពេល 4-5 ម៉ោង។
3. រលាយ
ណែនាំ argon ជាឧស្ម័នការពារដើម្បីរក្សាសម្ពាធនៅក្នុងឡដែលជាមូលដ្ឋាននៅប្រហែល 400-600mbar ។ បង្កើនថាមពលកំដៅបន្តិចម្តង ៗ ដើម្បីសម្របសីតុណ្ហភាពនៅក្នុង Crucible ដល់ប្រហែល 1500℃ហើយវត្ថុធាតុដើមស៊ីលីកុនចាប់ផ្តើមរលាយ។ ទុកប្រហែល 1500℃ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការរលាយរហូតដល់ការរលាយត្រូវបានបញ្ចប់។ ដំណើរការនេះត្រូវចំណាយពេលប្រហែល 20-22 ម៉ោង។
4. ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់
បន្ទាប់ពីវត្ថុធាតុដើមស៊ីលីកុនត្រូវបានរលាយថាមពលកំដៅត្រូវបានកាត់បន្ថយដើម្បីធ្វើឱ្យសីតុណ្ហភាពនៃ Crucible ធ្លាក់ចុះដល់ប្រហែល 1420-1440 ។℃ដែលជាចំណុចរលាយនៃស៊ីលីកុន។ បន្ទាប់មក crucible រ៉ែថ្មខៀវបន្តិចម្តងផ្លាស់ទីចុះក្រោមឬឧបករណ៍អ៊ីសូឡង់កើនឡើងបន្តិចម្តងដូច្នេះ crucible រ៉ែថ្មខៀវយឺតចាកចេញពីតំបន់កំដៅនិងបង្កើតការផ្លាស់ប្តូរកំដៅជាមួយជុំវិញ; ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ទឹកត្រូវបានឆ្លងកាត់ចានត្រជាក់ ដើម្បីកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពនៃការរលាយពីបាត ហើយគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនត្រូវបានបង្កើតឡើងដំបូងនៅខាងក្រោម។ កំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់ ចំណុចប្រទាក់រឹង-រាវតែងតែនៅស្របទៅនឹងប្លង់ផ្តេក រហូតដល់ការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ត្រូវបានបញ្ចប់។ ដំណើរការនេះត្រូវចំណាយពេលប្រហែល 20-22 ម៉ោង។
5. Annealing
បន្ទាប់ពីការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ត្រូវបានបញ្ចប់ ដោយសារជម្រាលសីតុណ្ហភាពដ៏ធំរវាងបាត និងផ្នែកខាងលើនៃគ្រីស្តាល់ ភាពតានតឹងកម្ដៅអាចមាននៅក្នុងអង្គធាតុ ដែលងាយនឹងបំបែកម្តងទៀតក្នុងអំឡុងពេលកំដៅនៃស៊ីលីកុន wafer និងការរៀបចំថ្ម។ . ដូច្នេះបន្ទាប់ពីការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ត្រូវបានបញ្ចប់ សារធាតុស៊ីលីកុនត្រូវបានរក្សាទុកនៅជិតចំណុចរលាយរយៈពេល 2-4 ម៉ោងដើម្បីធ្វើឱ្យសីតុណ្ហភាពនៃស៊ីលីកុនមានឯកសណ្ឋាន និងកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ។
6. ត្រជាក់
បន្ទាប់ពី ស៊ីលីកុន ingot ត្រូវបាន annealed នៅក្នុង furnace បិទថាមពលកំដៅ លើកឧបករណ៍អ៊ីសូឡង់កំដៅឬបន្ថយ ingot ស៊ីលីកូនទាំងស្រុងហើយណែនាំលំហូរដ៏ធំនៃឧស្ម័ន argon ចូលទៅក្នុង furnace ដើម្បីកាត់បន្ថយបន្តិចម្តងសីតុណ្ហភាពនៃ ingot ស៊ីលីកុនទៅជិត។ សីតុណ្ហភាពបន្ទប់; ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ សម្ពាធឧស្ម័ននៅក្នុងចង្រ្កានកើនឡើងជាលំដាប់ រហូតដល់វាឡើងដល់សម្ពាធបរិយាកាស។ ដំណើរការនេះត្រូវចំណាយពេលប្រហែល 10 ម៉ោង។
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២០ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២៤